多用途电驱型干涉仪控制系统

精密干涉仪主机

精密干涉仪主机：分束器及补偿板的平面度优于1/10λ测微螺旋最小分度对应动镜行程0.00025mm，动镜行程0.625mm法布里-珀罗反射镜90%反，1%透，直径30mm；模块化，便捷拆卸，可自行组装，调节。

激光器

He-Ne激光器：长度270mm，外径46mm，氦氖激光器，632.8nm,TEM00，功率1.0mW,发散角<5mrad，单模输出；带有专用电源，尺寸：200*180*70mm；支架：可卡装50mm以内的激光器或其他管状物，表面喷砂氧化处理，保证质量的同时外观的美度也大大提升。

调整架

磁吸式扩束器、延伸架、薄膜夹持架，两用观察像屏，透明薄片，扩束镜架，转动延伸架保证即使两个光学件靠近，也可使其上两个光学件对称偏离光轴；三维精密调整架等；角度精度±4′，分辨率0.005mm，调节机构保证等双轴等高，横向偏差1′，纵向偏差1′

光学元件

BK7 精密退火材料，焦距±2%，直径-0.2mm，中心偏差3′，光圈1-5；局部误差为0.2-0.5，面粗糙度60/40（Scratch/Dig），氟化镁增透膜镀膜，有效孔径90%；反射镜，扩束镜4.5等；

毛玻璃屏

直径60mm，高强度铝合金外框，表面喷砂氧化处理

气室

气室测空气折射率，长度：80 mm

光源

钨/纳双灯(用于白光干涉)，钠灯20W；溴钨灯15W，6V/3V，含电箱控制驱动器

精密电动平移台

步进电机驱动，自动调整;

高精度的滚珠丝杆，分辨率高；

高精度交叉滚柱导轨副，结构紧凑，运行平稳；

合适科研及工业客户，可以组成二维、三维调整台

行程 ：15mm

台面尺寸： 40x40mm

导轨形式： V-shaped guide rail+ cross roller

导程：1mm

分辨率：(8细分 0.0006125mm

max速度 ：4mm/s

重复定位精度： <0.001mm

直线度： 0.002mm

平行度： 0.002mm

回程误差为： <0.0005mm

上下摆动： 25"

左右摆动： 20"

max负载： 5kg

自重： 0.4kg

电器控制

步进电机： 28BYH250B(1.8°)

线缆接口： DB9

极限传感器： ITR20403 (EVERLIGHT)(2个)

零位传感器： ITR20403 (EVERLIGHT)(位于行程中间)

传感器输入电压： DC12V~DC24V

传感器输出电压： DC12V~DC24V

传感器输出形式： 集电极开路 NPN

驱动控制器

控制一维到三维电动位移台；

集稳压电源、驱动器、控制器于一体，采用32位微处理器；

汉字液晶显示，汉字智能键盘；

菜单式操作，可作运行速度、加速度、归零速度、回差、细分、步进当量等多种设置。每个轴可独立设置参数；

提供光电开关信号，先进的细分驱动设计，可达64细分，电流可调，确保电移台处于稳定运行状态；

标准RS232接口，可与计算机相连，通过计算机实现电动位移台的操作，操作界面直观，软件功能丰富，开放源程序，提供二次开发平台。

压电陶瓷

输出正弦波调制幅度：0-250V连续可调；输出直流偏置电压0-25V，连续可调；输出频率：20-50Hz

数显计数装置

供电电源：DC=9V

光电探测组件：6×6感光面

计数范围：0-9999

相应时间：≤0.2S

光谱响应范围：300-1000nm

底座配套干涉仪·使用，主体部分可单独用于测量条纹明暗变化数值

采用迭代采样法，具有防抖动功能

工作条件

使用环境 (温度在15℃～40℃，湿度20%-80%)

无强振动源、无强电磁场干扰。

室内保持清洁、无腐蚀性气体；且与墙面墙体尽量保持一定的距离

CCD摄像头+测量软件

测量精度：0.001MM

分辨率：2592X1944P25帧

输出接口：USB3.0输出

相机功能：图像拼接、景深融合、镜像

相机像素：500万像素

外接设备：台式电脑或电脑笔记本

操作方式：鼠标

基本功能：拍照、录像、测量、存储

画质调整：曝光、白平衡、色彩、颜色可调

功能描述：

移动：移动画面上的测量工具，整体移动或者移动某一个端点

点：标注图像上的某一点

直线： 绘制一条直线，测量直线的长度

折线： 绘制折线，鼠标右键结束绘制，测量折线的总长度

矩形： 绘制一个长方形，测量长方形的面积

不规则多边形： 绘制不规则多边形，鼠标右键结束绘制，测量多边形的面积

圆： 圆心和半径确定圆，测量圆的半径、面积

两点定圆： 直径与圆周的两点确定一个圆，测量圆的半径、面积

三点定圆： 圆周上的三个点确定一个圆，测量圆的半径、面积

圆弧：三个点确定一段圆弧，测量圆弧的长度

角度： 测量角度

点线距： 测量一个点到一条直线的垂直距离

删除： 删除一个测量工具，选择删除工具后，点击画面上测量工具的某一点端点，删除测量工具

全部删除： 删除画面上的所有测量工具

导出：导出测量数据到cSV文件中，可用Excel打开